日本西格玛光机XY轴TSD不锈钢直动平台TSDS-602C
特征:
其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场合。
规格:
型号 |
台面尺寸(mm) |
行程 [mm] |
螺距 [mm/rotation] |
度;直线度 [mm] |
移动精度;俯仰 [arcsec] |
移动精度;左右摆动 [arcsec] |
平行度 [mm] |
移动平行度 [mm] |
最小读数 [mm |
最小分辨率 [mm] |
承载能力Fz' [N] |
最大承载力矩Fx' [N?m] |
最大承载力矩Fy' [N?m] |
最大承载力矩Fθ' [N?m] |
刚性
Fx'
[秒/N?m] |
刚性
Fy' [秒/N?m] |
自重 [Kg] |
TSDS-252C |
25x25 |
±
3 |
0.5 |
0.002 |
30 |
25 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
39.2(4.0gf) |
2 |
2 |
1 |
3.4 |
3.4 |
0.1 |
TSDS-252S |
±
3 |
0.5 |
0.002 |
35 |
35 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
39.2(4.0kgf) |
2 |
2 |
1 |
3.4 |
3.4 |
0.1 |
TSDS-402C |
40x40 |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
30 |
25 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
147(15.0kgf) |
3.9 |
3.9 |
2.5 |
0.66 |
0.66 |
0.3 |
TSDS-402S |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
30 |
25 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
147(15.0kgf) |
3.9 |
3.9 |
2.5 |
0.66 |
0.66 |
0.3 |
TSDS-602C |
60x60 |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
25 |
15 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
294(30.0kgf) |
8.8 |
8.8 |
4.9 |
0.41 |
0.41 |
0.9 |
TSDS-602S |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
25 |
15 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
294(30.0kgf) |
8.8 |
8.8 |
4.9 |
0.41 |
0.41 |
0.9 |
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