日本NIKON尼康 晶圆盒测量系统 VMR-C4540
产品叙述:
晶圆基底测量系统,非接触,全自动测量提供出众的吞吐量,使用于测量FOUP和FOSB。
特点,通过将运动面板以90度为增量进行旋转,实现对基底四个侧面的连续测量。
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